低溫真空泵的選型技術(shù)

低溫真空泵是低用低溫（低于100K）表面冷凝、吸附和捕集氣體來獲得和保持真空的設(shè)備。它有很多優(yōu)點：

①起始壓力高（原則上可從大氣壓開始抽氣），極限壓力低，可達10﹣13Pa，因此，其工作范圍壓力寬；

②抽速大，對于20℃空氣，**抽速可達11.6L（s·cm2）；

③可以抽除各種氣體，從而獲得清潔的超高真空；

④作為大容量的排氣系統(tǒng)，占地面積小，電力消耗少；

⑤有極大的靈活性，可以做成插入式，用于無法布置其他類型泵的場合。低溫真空泵運行時需要冷劑或制冷設(shè)備。

低溫真空泵的應(yīng)用范圍非常廣泛：

①在空間科學(xué)技術(shù)中，宇宙空間存在著真空和低溫狀態(tài)，外層空間的真空度可達10﹣14Pa，溫度為3K左右。因此，低溫真空是宇宙空間模擬的理想設(shè)備。此外，研究空間條件下材料表面現(xiàn)象，低壓空氣動力學(xué)試驗，火箭發(fā)動機高空點火試驗，空間生物技術(shù)等，都用低溫真空泵。

②應(yīng)用在高能物理、等離子體和核聚變研究中。

③應(yīng)用在薄膜制備領(lǐng)域。

④應(yīng)用在微電子學(xué)，尤其是半導(dǎo)體微電子技術(shù)，如離子注入，離子刻蝕等。

⑤應(yīng)用在近代科學(xué)儀器中，如掃描電鏡、電子衍射儀等各種分析儀器。